什么是FFU?

FFU(Fan     Filter     Units)是風機和過濾器的組合，也可以稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU  通常安裝在潔凈 室的送風末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU 上面部分為風機模塊，下面部分為過濾器。 根據潔凈度為的要求，過濾器可為不同等級的高效(HEPA)   或超高效(ULPA)   過濾器，為潔凈室提供潔凈空 氣。風機模塊除了要克服FFU 下部高效過濾器的阻力，還要克服整個循環風所有通道部件的阻力，從而維持設定的 運行風速。FFU 系統具有設計施工簡便，風速調節靈活，潔凈區易于變更等特點，因此已成為工業潔凈室的流行系 統形式之一。

FFU 具有特點：

第一：靈活性。因為FFU 是自帶動力的，它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據需要，分區控制。 而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU 的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不 會帶來二次投資。

第二：可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU 設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次作用。

第三：負壓通風。這是FFU 的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣， 靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里，使得密封變得很簡單而且安全。

第四：縮短建設周期。使用FFU 省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一 個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU 成為了一種可能。

第五：減少運行成本。雖然在選用FFU 時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現節能、 免維護等特點。用在循環減少40%的運行成本。

FFU 組合的關鍵性能參數：

模數尺寸 (ceiling    modular     size): 安裝吊頂龍骨中國心線的間距，FFU常用的標準模數尺寸為1200*600 (4’*2‘),1200*900(4’*3‘),1200*1200(4’*4‘)。

實際尺寸(actual    size):清新凈化的FFU過濾器的實際尺寸=模數尺寸-(龍骨斷面寬度25mm),    風機模塊的 實際尺寸比過濾器稍大4mm。 比如說常用的吊頂龍骨端面寬度為55mm,  模數尺寸為1200,900,600所對應的 FFU 過濾器實際尺寸為1170,870,570,風機模塊的實際尺寸為1174,874,574。

機外余壓(ESP):     在某一設定風速下，風機模塊的總靜壓(TSP)   扣除HEPAIULPA  過濾器的阻力，即為機 外余壓(ESP),  單位是Pa 。ESP是指FFU 整機能克服潔凈室循環風阻力的能力，無論是標注FFU機外余壓或風機模 塊的總靜壓TSP, 都必需指名送風風速或風量，否則沒有意義。

輸入能耗(input    power   consumption):FFU正常運轉時輸入電壓和輸入電流的乘積，單位是W。顯 然 ， FFU 在不同的運行工況點，即在不同的運行風量和總靜時，輸入能耗不同。因此，如果不指明運行工況點，輸入能 耗值沒有意義。

單體噪音(noise       level): 根據標準IES-RP-CC002,FFU      正常運轉時在距離出風面中心正下方1.2mm處  的噪音值，單位是dB(A) 。FFU    在不同的運行工況點，即在不同的運行風量和總靜壓時，噪音不同。因此，如果 不指明運行工況點，噪音值沒有意義。

微振(micro  vibration):根據標準IES-RP-CC002,FFU     在最大運轉工況點時的振動幅度和振動速率，單

位分別是mm和mm/s。

送風均勻度(air        uniformity):根據標準IES-RP-CC002,FFU      正常運轉時，在距離出風面上方150mm (6’)的水平面上測量逐點的風速，得出平均風速值。平均風速與最大風速和最小風速的偏差比即為送風均勻度， 單位為+/-%。標準IES-RP-cC002   中要求FFU 的任一點的送風風速與其平均風速的偏差均應在+/-20%以內。

過濾器效率等級(filtergrade):依據歐洲標準EN1822,  過濾器等級從H10-H14。U15-U17。   或依據美國 標準MIL-282(HEPA),       對于0.3um的效率值；依據美國標準IES-RP-CC0071,     對于0.12um的效率值。

FFU 的風機模塊具有如下特點：

性能可靠：采用國內出口品牌的內轉子馬達及直驅離心葉片和電的敢元器件。

型號齊全：根據馬達有交流(AC)  和無刷直流(EC);  根據輸出靜壓有標準型和高靜壓型；根據模數尺寸有 1200*600,1200*900,1200*1200,1500*750;根據箱體材質有鋅鋁涂層鋼板(標準型)、不銹鋼型、鋁 板。

優異的出風均勻度：達到并優于國際標準IES、RP、CC-002  中的+/-20%的要求。

低噪音：科學的馬達風機選型和轉一速設計、獨特的導流和消音材料的應用、合理的箱體尺寸設計，使富士通潔凈 FFU 的噪音水平低于同類產品。

低微振：總振動速率均小于1mm/s, 振幅不超過4um 低能耗和低散熱量，一流的風機品質和動平衡設計，以及箱體 本身的零壓損，使富士通潔凈FFU 在同樣的輸出工況時運行能耗和散熱量低于同類產品。

技術參數